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YPS肖特基型熱場發(fā)射源【電子源性能表】

 二維碼 1485

電子源性能表



提供電子源性能表是為了提供有關不同類型電子發(fā)射器的性能和要求的其他信息。鎢陰極仍然用于許多SEM。使用LaB6陰極可以獲得更好的結果。使用肖特基或冷場發(fā)射源可以實現(xiàn)最高分辨率、最高亮度和**低 kV 性能。


發(fā)射器類型

熱離子

熱離子

肖特基TFE

冷場發(fā)射源

吸頭圖像比較

Thermionic Wolframe Cathode

Thermionic LaB6 Cathode

chottky TFE ZrO/W (100) Cathode

Cold Fe W (310) cathode

正極材料

W

LaB6

ZrO/W (100)

W (310)

工作溫度 (K)

2700

1800

1800

300

陰極半徑(nm)

60,000

10,000

<1000

<100

有效源半徑(μm)

25

10

0.015

0.0025

發(fā)射電流密度 (A/cm2)

3

30

5300

17,000

總發(fā)射電流 (μA)

200

80

200

5

亮度 (A/cm2.sr.kV)

1x104

1x105

1x107

2x107

**探頭電流 (nA)

1000

1000

10

0.2

能量擴散@陰極(ev)

0.59

0.4

0.31

0.26

能量傳播 @ 源出口 (eV)

1.5 – 2.5

1.3 – 2.5

0.35 – 0.7

0.3 – 0.7

光束噪聲 (%)

1

1

1

5 – 10

發(fā)射電流漂移 (%/h)

0.1

0.2

<0.5

5

工作真空度(hPa/mbar)

<10-5

<10-6

<10-8

<10-10

典型陰極壽命 (h)

100

>1000

>5000

>2000

陰極再生 (h)

沒有

沒有

沒有

6-12

對外部影響的敏感性

極小

穩(wěn)定性

標準

非常高

X射線分析

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS / WDS

EDS


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