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YPS 肖特基熱場發(fā)射源
高亮度，直接替換電子源
YPS 肖特基型熱場發(fā)射源是替代電子束系統中使用過的 TFE 源的絕佳選擇，包括 FESEM、SFEG-SEM、FETEM、EPMA、Auger 和 CD-SEM 系統。YPS 源是現有 FEI 和 Denka 樣式源的直接替代品，也稱為 184 和 174 型抑制器。YPS 肖特基 TFE 源由一根單晶 （100） 鎢絲組成，其尖端非常鋒利，包括鎢尖線周圍的鋯儲液器。尖端安裝在發(fā)夾燈絲上，用于保持尖端的溫度在1800K左右。該組件安裝在帶有孔徑的圓柱形抑制器電極中，鋒利的尖端通過該孔突出。由于熱激發(fā)和尖端的電場，電子從尖端發(fā)射。YPS 肖特基 TFE 光源尖端通常具有 0.3μm 的半徑，并突出約 250μm，以確保光源的高亮度。
YPS提供標準設計，翻新傳統設計和設計，并提供定制TFE源。這些產品面向那些對改變場發(fā)射源感到滿意，并知道如何在清潔的環(huán)境中改變、加載和對齊TFE源的客戶。肖特基TFE源的工作真空通常優(yōu)于1x10-9mbar。這高于鎢或Lab6源的工作真空，但不如冷場發(fā)射源嚴格。YPS 肖特基熱場發(fā)射源在寬范圍的加速電壓和較長的工作時間下表現出出色的穩(wěn)定性。電子源性能表
YPS-174標準肖特基TFE發(fā)射器模塊

YPS-174肖特基TFE模塊是最常見的標準肖特基熱場發(fā)射器模塊的直接替代品。它在尺寸上與Denka和FEI標準肖特基場發(fā)射陰極相當。抑制器孔徑為400μm。發(fā)射器通常從抑制器電極突出250μm。YPS-174 與 AmRay、日立、JEOL、蔡司、LEO、飛利浦、PHI 和 Riber 的電子束系統上使用的熱場發(fā)射源兼容。
YPS-174肖特基TFE模塊是最常見的
標準肖特基熱場發(fā)射器模塊的直接替代品。
YPS-184 肖特基TFE發(fā)射器模塊

YPS-184肖特基TFE發(fā)射器模塊是FEI肖特基TFE發(fā)射器模塊的直接替代替代品。抑制器孔徑為500μm，發(fā)射器從抑制電極突出250μm。YPS-184 可通過底座的法蘭輕松識別。YPS-184肖特基TFE模塊用于FEI/飛利浦、CamScan和Tescan FE色譜柱。它也可以在使用帶有TFE源的電子束柱的其他系統上找到。.


YPS-184肖特基TFE發(fā)射器模塊是FEI肖特基TFE發(fā)射器模塊的直接替代品。
YPS將肖特基TFE模塊組件交換為FEI FEG和Sirion SFEG

YPS FEI FEG 和 SFEG 肖特基 TFE 模塊是 FEI XL-30、Sirion、Inspect 和 Nova NanoSEM 系統中使用的 FEI TFE 模塊的完整交換模塊組件替代品。FEG 或 SFEG 發(fā)射器模塊在噴槍組件內提供，并在工廠預先對準。它可用于FEI系統單元，FEG TFE模塊組件和SFEG Sirion模塊組件。這僅作為完整的噴槍模塊更換提供。完整的TFE噴槍組件將在惰性氮氣下運輸，并在噴槍組件法蘭上安裝一個保護容器。TFE源的類型可以通過噴槍組件法蘭上的銀色標簽來識別。
YPS FEI FEG 和 SFEG 肖特基 TFE 模塊是FEI TFE 模塊的完整交換模塊組件替代品。
YPS 肖特基 TFE 源由一根單晶 （100）鎢絲組成，
其尖端非常鋒利，包括鎢尖端線周圍的鋯儲液器
YPS TFE 發(fā)射器模塊選型表

Instrument

Product #

YPS TFE Emitter Module



yps 174 source with suppressorYPS 184 source with suppressor

AmRay

14-AM4702

YPS-174-A



CamScan

14-CS4801


YPS-184-C * Exchange only


FEI/Philips 174

14-FP4703

YPS-174-F *Exchange only



FEI **

14-FE4803


YPS-184-F * Exchange only


FEI FEG   gun assembly

14-FX4920



FEG gun assembly exchange only

FEI SFEG Sirion gun assembly

14-FX4930



SFEG gun assembly exchange only

Hitachi TFE SEM ***

14-HI4704

YPS-174-H



Hitachi TFE CD-SEM

14-HC4705

YPS-174-HC



ISI / ABT / Topcon

14-IT4706

YPS-174-IT



JEOL

14-JL4708

YPS-174-J



LEO (Gemini)

14-ZE4710

YPS-174-Z



PHI

14-PH4711

YPS-174-P



Riber

14-RI4712

YPS-174-R



Tescan ****

14-TE4709

YPS-174-T



Tescan ****

14-TE4809


YPS-184-T * Exchange only


Zeiss (Gemini)

14-ZE4710

YPS-174-Z



Custom Emitters

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* 僅供更換，原抑制器部件經過重新裝修、清潔并配備新的 TFE 尖端

** 184 型 TFE 發(fā)射器模塊也可以在其他電子束系統上找到。聯系我們進行更換。
YPS-174 肖特基 TFE 發(fā)射器模塊用于 Hitachi FESEMS、Hitachi CD-SEM 和 JEOL FESEM 僅與使用熱場發(fā)射器的 Hitachi 和 JEOL FESEM 兼容。冷場發(fā)射器與 YPS-174 或 YPS-184 模塊不兼容。
Tescan 同時使用 174 和/或 184 型 TFE 發(fā)射器模塊 .每個 YPS 肖特基 TFE 發(fā)射器模塊都包含一個廣泛而獨特的數據表，包括


  • 發(fā)射器半徑值（以μm為單位）

  • 發(fā)射器性能 @ 1800K

  • 溫度與電流的關系圖

  • 尖端從抑制器伸出的距離，單位為μm

  • 來自TFE發(fā)射器尖端的SEM圖像

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